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Bernhardt / Black / Rosenberg

In-Situ Patterning: : Volume 158

Selective Area Deposition and Etching

Medium: Buch
ISBN: 978-1-55899-046-3
Verlag: Cambridge University Press
Erscheinungstermin: 13.07.1990
Lieferfrist: bis zu 10 Tage

Autoren/Hrsg.

Herausgeber

Bernhardt, Anthony F

Black, Jerry G

Rosenberg, Robert