Specialty Gas Analysis

The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis. Most specialty gas vendors have some re in place for quality assurance, but these usually are very simplistic and outdated methods. No book was available that gave guidance on providing accurate, reproducible data on specialty gas products. This is the first book that provides an introduction to current analytical methods and equipment for the analysis of high- purity gases used in the semiconductor industry and related fields.Zunehmend setzt man in der Halbleiterindustrie gasförmige Ausgangsstoffe ein. Ganz klar: Dies bewirkt, daß die Reinheit der Gase in den Mittelpunkt des Interesses rückt. Anbieter technischer Gase prüfen die Qualität ihrer Produkte zu oft noch mit primitiven, eigentlich längst veralteten Methoden. Dieses Buch will Ihnen einen systematischen, kompakten Überblick über modernste Technologien der Gasanalyse bieten. Sie erhalten das Rüstzeug, Ihre Analysen effektiv und sinnvoll planen und bewerten zu können sowie über eventuell sinnvolle Neuanschaffungen von Geräten zu entscheiden. - Für Analytiker in Halbleiterherstellung, Elektronik und alle, die hochreine Gase herstellen und anbieten!