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Entwicklung von Verfahren zur Atomlagenabscheidung von leitfähigen Tantalnitrid-basierten Dünnschichten
Verlag:
tredition
ISBN:
978-3-8495-7446-8 (Buch)
Erscheinungstermin:
17.03.2014
Lieferzeit ca. 10 Werktage
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